{"product_id":"ieej-zt002031","title":"反応性RFスパッタ酸化タンタル薄膜の誘電分散","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-031\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDielectric Dispersion of Tantalum Oxide Films prepared by RF Sputtering \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e川俣 常雄(信州大学),伊東 栄次(信州大学),宮入 圭一(信州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTsuneo Kawamata(Shinshu University),Eiji Ito(Shinshu University),Keiiti Miyairi(Shinshu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e薄膜|誘電分散|酸化薄膜|界面分極|スパッタリング\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高絶縁材料である酸化タンタルは本来無極性の絶縁体であるが、反応性RFスパッタ法により基板温度R.Tで成膜したAl電極の酸化タンタル薄膜は130℃以上になると低周波領域で分極を生ずるという特性が見られた。これは酸化タンタル膜とAl電極との界面に形成されたAl酸化層が酸化タンタル層と二層誘電体をつくり、界面分極を生じているためであると考えられた。本研究では電極酸化膜の影響がないAu電極を用いた試料で測定した。その結果Al電極の試料と同様に130℃以上の低周波領域で分極現象が見られた。そこで本研究ではAu電極の酸化タンタル薄膜の電気的特性を測定し、Au電極酸化タンタル薄膜の分極現象発生メカニズムを検討した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e71 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395527758063,"sku":"IEEJ-ZT002031-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_60ca0e25-dbf5-4df2-a935-4ba1c047606c.png?v=1744776077","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt002031","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}