{"product_id":"ieej-zt002142","title":"LaCrO3を用いた小型高温薄膜発熱体の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-142\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProduction of small high-temperature heaters with LaCrO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e林 慎一郎(同志社大学),吉門進三 (同志社大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShinichirou Hayashi(Doshisha University),Shinnzou Yoshikado(Doshisha University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e抵抗発熱体|RFマグネトロンスパッタリング|ランタンクロマイト\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eランタンクロマイト(LaCrO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e)はペロブスカイト型構造の複酸化物で、Caなどのアルカリ土類金属を置換固溶させることにより、高い導電性を示す。我々はＲＦマグネトロンスパッタリング法を用いてLaCrO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eを薄膜化し，小型高温発熱体の作製を行った。今回基板として，単結晶Si(100)，発熱時の基板劣化の影響を防ぐためSiを酸化し絶縁膜であるSiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eを形成したもの，また石英ガラスを用いた。電極はLaCrO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eとオーミック性がよい白金を使用した。スパッタ時の放電ガスがArのみの時と、ArとO2の混合ガスの時のいずれにおいても最高発熱温度1000℃以上に達した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e253 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46395534672111,"sku":"IEEJ-ZT002142-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5ec3e969-6b4f-4801-9729-1875b09162c3.png?v=1744776703","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt002142","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}