{"product_id":"ieej-zt003018","title":"ＳｉＯ２膜の水による劣化特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-018\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDeterioration of SiO2 film at high humidity\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大矢将慶 (大阪工業大学),松岡毅至 (大阪工業大学),八木謙一 (大阪工業大学),越智完好 (大阪工業大学),吉田國雄 (大阪工業大学),葛生伸 (福井大学),神村共住 (大阪大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasayoshi Ohya(Osaka Institute of Technology),Matuoka\/Takashi (Osaka Institute of Technology),Yagi\/Kenichi (Osaka Institute of Technology),Ochi\/Kanyoshi (Osaka Institute of Technology),Yoshida\/Kunio (Osaka Institute of Technology),Kuzuu\/Nobu (Fukui University),Kamimura\/Tomozumi (Osaka University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e光学薄膜|SiO2膜\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e　光学薄膜は、SiO2、MgF2などの低屈折率物質とTiO2,ZrO2,Ta2O5,HfO2などの高屈折率物質とを交互に積層した誘電体多層膜を用いる。　特に、高出力レーザー用のミラーには膜厚λ／２（λ：レーザー波長）のSiO2または、MgF2をオーバーコートする。このオーバーコート用のSiO2膜は、高湿度下ではレーザー損傷閾値が大きく低下することが分かった。大会では、このSiO2膜の水による劣化について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e59 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395540013295,"sku":"IEEJ-ZT003018-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_714e5ba6-1f98-4110-8877-61bba836d1de.png?v=1744777141","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt003018","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}