{"product_id":"ieej-zt003152","title":"一元電子ビーム蒸着法を用いたクロム酸鉛結晶薄膜の成長","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-152\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCrystalline Thin Films Preparation of Lead Chromate Oxide by Electron Beam Deposition \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e安藤 信彦(関東学院大学),菅 禎彦(関東学院大学),赤川 英幸(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNobuhiko Andou(Kanto-gakuin University),Yoshihiko Suga(Kanto-gakuin University),Hideyuki Akagawa(Kanto-gakuin University),Minoru Ootu(Kanto-gakuin University),Tomoyasu Hiramatu(Kanto-gakuin University),Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Noriyuki Nanba(Kanto-gakuin University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e一元電子ビーム蒸着法|クロム酸鉛|薄膜|湿度センサ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eクロム酸鉛を湿度センサとして応用するために、厚膜、バルクを用いたもの、RFマグネトロンスパッタリング法を用いて作製された薄膜について報告した。本研究ではクロム酸鉛を湿度センサとして応用する際のIC化を考え、一元電子ビーム蒸着法による薄膜結晶化を目的とした。その結果、ソースの混合比が結晶成長に関連しており、PbOの割合により薄膜の混合比制御が可能な事が示されたので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e53 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395546173679,"sku":"IEEJ-ZT003152-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_839286ff-03b2-4432-9249-c0a07cec04be.png?v=1744777892","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt003152","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}