{"product_id":"ieej-zt003157","title":"ポリシリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-157\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of polycrystalline Si nano wire piezoresistor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e谷本 靖忠(立命館大学),鳥山 寿之(立命館大学),杉山 進(立命館大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYasutada Tanimoto(Ritsumeikan University ),Toshiyuki Toriyama(Ritsumeikan University ),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University )\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eナノワイヤー|ピエゾ抵抗素子|ポリシリコン|EB直接描画\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究は、ポリシリコンのナノスケール化がピエゾ抵抗効果へ及ぼす影響を検討するためにナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作を行った。EBによる直接描画技術とRIEを用いてポリシリコンのナノワイヤー加工を行った。断面が１００×１００nm2、長さが6μmで線幅が結晶粒と同程度のポリシリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子を実現した。ナノワイヤーピエゾ抵抗素子はマイクロオーダのピエゾ抵抗素子と同程度のピエゾ抵抗係数を有し、機械量センサの検出素子として十分に機能することを確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e64 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395546632431,"sku":"IEEJ-ZT003157-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ef5adda9-2938-4400-af00-22da4e98870d.png?v=1744777905","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt003157","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}