{"product_id":"ieej-zt003158","title":"ナノ領域計測用Siツインプローブの製作","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-158\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSi Twin Probes for Nano Scale Measurment\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e角嶋 邦之(東京大学),三田 信(東京大学),橋口 原(香川大学),藤田 博之(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKuniyuki Kakushima(IIS,The University of Tokyo),Makoto Mita(IIS,The University of Tokyo),Gen Hashiguchi(Kagawa University),Hiroyuki Fujita(IIS,The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eナノワイヤ?|シリコン|熱駆動アクチュエータ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eナノ領域計測用の２本の近接したプローブ（ツインプローブ）を製作した。プローブはSiの結晶面を利用したナノワイヤ?技術によって形成され、プローブ間の距離は500nm以下である。プローブの断面は２つの\u0026lt;111\u0026gt;と\u0026lt;100\u0026gt;に囲まれた、高さ200nm、底辺280nmの三角形をしている。またツインプローブはCrとのシリサイドによって伝導度を改善した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e154 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395546697967,"sku":"IEEJ-ZT003158-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_13cf7c71-e115-42e5-ab5c-a7d8eb32f645.png?v=1744777908","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt003158","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}