{"product_id":"ieej-zt003160","title":"LIGAライクプロセスによるマイクロアクチュエータの試作","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-160\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of Microactuator using LIGA like Process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e安井学 (神奈川県産業技術総合研究所),平林康男 (神奈川県産業技術総合研究所),小林賢 (神奈川県産業技術総合研究所),岩城康彦 (山王),塚原久雄 (山王)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eマナブ (Kanagawa Industrial Technology Research Institute),ヤスオ (Kanagawa Industrial Technology Research Institute),ケン (Kanagawa Industrial Technology Research Institute),ヤスヒコ (Sanno Co.,Ltd),ヒサオ (Sanno Co.,Ltd)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電鋳|LIGAライクプロセス|厚膜レジスト\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eマイクロマシニング技術の１例として，厚膜レジストを用いた電鋳によりマイクロアクチュエータ・センサを作製するLIGAライクプロセス1)がある。今回，LIGAライクプロセスを用いて２方向動作静電アクチュエータの試作し，最小線幅1.3μm，高さ18.5μm，アスペクト比14を得た．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e278 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395546730735,"sku":"IEEJ-ZT003160-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_869a4f48-5ea8-4d19-a5b5-f595afd8d1cb.png?v=1744777911","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt003160","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}