{"product_id":"ieej-zt003162","title":"新しい静電リニアーアクチュエータの作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-162\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of New Electrostatic Linear Actuator\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e熊谷 道広(大阪府立大学),近藤 和也(大阪府立大学),松永 崇(大阪府立大学),川田 博昭(大阪府立大学),安田 雅昭(大阪府立大学),村田 顕二(大阪府立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMichihiro Kumagai(Osaka Prefecture University),Kazuya Kondou(Osaka Prefecture University),Takashi Matsunaga(Osaka Prefecture University),Hiroaki Kawata(Osaka Prefecture University),Masaaki Yasuda(Osaka Prefecture University),Kenji Murata(Osaka Prefecture University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e表面マイクロマシン|リニアーアクチュエーター|静電駆動|ニッケルメッキ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e一次元方向に数百μm程度動くマイクロアクチュエータの作製は容易ではない．本報告では一次元方向に500μm動く新しい静電アクチュエータを提案する．このアクチュエータは可動範囲が長く，ステップ的に動くため高精度の動きが期待できる．作製はフォトレジストを犠牲層としてNiメッキを用いたプロセスで行い，全工程を110℃以下の低温プロセスで行った．作製されたアクチュエータは機械的に可動であり，ベアリング部が正常に働いていることは確かめられたが，静電力により電気的に可動であるかはまだ確認していない．また，アクチュエータに働く静電力を求めるシミュレーションも行い，新しい静電アクチュエータの性能評価も行った．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e57 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395546861807,"sku":"IEEJ-ZT003162-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_69a9816d-02fd-4556-b5fd-224f536439be.png?v=1744777943","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt003162","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}