{"product_id":"ieej-zt004158","title":"600Vクラスプレーナ構造MOSFETの低オン抵抗化と高耐圧化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-158\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成12年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2000\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Study of Low-On-State-Resistance and High Voltage of 600V class Planar MOSFETs\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高野 和豊(菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング),幡手一成 (三菱電機),樅木浩次 (極陽セミコンダクターズ),小杉 康雄(福菱セミコンエンジニアリング),中村 勇治(福菱セミコンエンジニアリング),花野 尚慎(福菱セミコンエンジニアリング)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKazutoyo Takano(Ryouden Semiconductor System Engineering Corporation),Kazunari Hatade(Mitsubishi Electric Corporation),Hirotsugi Mominoki(Kyokuyou Semiconductors Corporation),Yasuo Kosugi(Fukuryou Semicon Engineering Corporat),Yuji Nakamura(Fukuryou Semicon Engineering Corporat),Naochika Hanano(Fukuryou Semicon Engineering Corporat)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパワーMOSFET|プレーナ構造MOSFET|低オン抵抗|高耐圧\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e各種電源に用いられている６００ＶクラスパワーＭＯＳＦＥＴは、応用機器の高効率・低損失化のために一層の低オン抵抗化要求があり、また低価格化要求もある。そのため今回、６００Ｖクラスプレーナ構造ＭＯＳＦＥＴについて微細加工プロセスの導入によるオン抵抗の低減（微細加工技術の導入によりセル密度を従来の第４世代品に比べて約４．５倍とした。更に、ソースオーミック抵抗低減プロセスを追加）と、設計パラメータの変更による高耐圧化を実現（セル部電界集中箇所のＰベース間隔を従来品に比べて狭く、均等に設計することにより高耐圧化、また安定して高耐圧が維持できる様に、チップ外周エッジターミネーション部の設計を変更）し、第６世代ＭＯＳＦＥＴを開発した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e61 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395564228847,"sku":"IEEJ-ZT004158-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_53c0a95b-3bd8-441a-83c1-5c290602746f.png?v=1744779086","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt004158","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}