{"product_id":"ieej-zt011043","title":"C5F8中の電子輸送係数測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-043\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurement of Electron Transport Coefficients in octafluorocyclopentene\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e後藤征一郎 (北見工業大学),吉田 公策(北見工業大学),大内 均(北見工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eseiitiro goto(Kitami Institude of Technology),kosaku yoshida(Kitami Institude of Technology),hitoshi ohuchi(Kitami Institude of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eC5F8|大気温暖化|定常タウンゼント法|ATS法|電子輸送係数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e　半導体製造におけるプラズマプロセス工程において，大気温暖化係数（ＧＷＰ）が低く，大気中寿命の短いガスが，地球温暖化防止の観点から求められており，その一つとしてＣ\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eＦ\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e（octafluorocyclopentene）の使用が検討されている。今回，ＳＳＴ(Steady State Townsend)法及びＡＴＳ(Arrival Time Spectra)法を用いて，Ｃ\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eＦ\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e中の電離係数，ドリフト速度，縦方向拡散係数，特性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e102 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395660239087,"sku":"IEEJ-ZT011043-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f11b596b-c102-4f7b-8138-00bd1d29a0e4.png?v=1744784500","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011043","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}