{"product_id":"ieej-zt011046","title":"CHF3気体中の電子輸送係数の測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-046\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Measurement of Electron Transport Coefficients in CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三谷 正宏(慶応義塾大学),中村 義春(慶応義塾大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasahiro Mitani(Keio University),Yosiharu Nakamura(Keio University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eCHF3|電子衝突断面積|スウォーム法|電子輸送係数|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体エッチングに用いられるCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eの断面積をスウォーム法によって決定するために、純粋CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e中(6-600[Td])における移動速度W、縦拡散係数ND\u003csub\u003eL\u003c\/sub\u003eおよび実効電離係数(α-η)\/Nの測定を、二重シャッタドリフトチューブを用いて行った。測定結果は、移動速度についてはUrquijoらの測定、Wangらの測定の結果とよく一致した。縦拡散係数は過去に測定例は見つからない。また、Kushnerらの断面積セットを用いたモンテカルロシミュレーション\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e99 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395661156591,"sku":"IEEJ-ZT011046-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d1cf16b0-8fcb-4d2e-afc5-b315616c3560.png?v=1744784510","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011046","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}