{"product_id":"ieej-zt011194","title":"UHF波励起表面波プラズマの石英窓近傍における高エネルギー電子の観測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-194\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eObservation of High Energy Electrons near Quartz Window in theSurface Wave Plasma Excited by UHF Waves\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e丹羽 隆彦(名古屋大学),永津 雅章(名古屋大学),菅井 秀郎(名古屋大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakahiko Niwa(Nagoya University),Masaaki Nagatsu(Nagoya University),Hideo Sugai(Nagoya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e表面波プラズマ|UHFプラズマ|高エネルギー電子|表面波電界|電子エネルギー分布関数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e915MHz表面波プラズマの石英板近傍で観測されるUHF波電界とプラズマ生成との関連を調べるため、Druyvesteyn法を用いて行った電子エネルギー確率関数(EEPF)の空間分布測定の測定を行った。測定結果は高エネルギー電子が石英近傍に存在することを示しており、表面波電界が高エネルギー電子生成に強く関わっている可能性を示している。今回の実験では、特にカットオフ近傍でのEEPFの空間的振る舞いをさらに詳しく調べるため、低密度プラズマ放電における空間分解計測を試み、高エネルギー電子の空間的な振る舞いを調べた\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e105 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395681407215,"sku":"IEEJ-ZT011194-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_50b60f6d-c05f-4b00-90df-613a0bdb6c46.png?v=1744785311","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011194","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}