{"product_id":"ieej-zt011203","title":"誘導プラズマトーチによるＳＦ６分解の生成物評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-203\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEstimation of Products on SF6 Decomposition using Inductively Coupled Plasma Torch.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e榊原 康史(富士電機総合研究所),虎口信 (富士電機総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYasushi Sakakibara(Fuji Electric Cororate R\u0026amp;D,Ltd. ),Makoto Toraguchi(Fuji Electric Cororate R\u0026amp;D,Ltd. )\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＳＦ６|誘導結合プラズマ|環境的\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eプラズマを利用した排ガス処理のひとつとして、ＳＦ６ガスのＩＣＰ（誘導プラズマ）トーチによる分解処理を試みた。分解したＳＦ６は、酸化マグネシウムＭｇＯと反応させ、弗化マグネシウムＭｇＦ２および硫酸マグネシウムＭｇＳＯ４として回収する。  ＳＦ６とＭｇＯの反応実験の結果、ＳＦ６はほぼ完全に分解されるが、ＭｇＯ以外にＳｉ、Ｏ、Ｈとの反応が進行し、それぞれＳｉＦ４、ＳＯＦ２、ＳＯＦ４、ＨＦなどが生成することが解った。Ｓｉの出所はトーチの石英製放電管、ＯとＨは装置の真空リークによる水である。ＭｇＯとの反\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e93 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395683438831,"sku":"IEEJ-ZT011203-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ea4fb988-cbd3-4db9-af3e-b2fb4b4892e0.png?v=1744785361","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011203","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}