{"product_id":"ieej-zt011227","title":"フッ素系ガスプラズマRIEによるLiNbO3結晶の加工表面評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-227\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEtching Characteristic of the LiNbO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e Crystal by Fluorine Gas Plasma RIE\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田村 剛士(同志社大学),吉門進三 (同志社大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasashi Tamura(Doshisha University),Shinzo Yoshikado(Doshisha University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eLiNbO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e|プラズマRIE|Fラジカル|AFM|XRD|結晶性\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eCF\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e，Ar，H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e，の混合気体を用いたプラズマRIE法によりLiNbO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e結晶を加工した。AFMより30～40mol%H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eを添加するとエッチング表面の表面粗さはエッチング時間に対して周期的に変化し，エッチングしていない結晶と同様の表面粗さを得ることがわかった。XRD法よりH\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eを添加せずに30分エッチングを行うと結晶本来の持つ低角度側の回折ピークが失われた。一方H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eを適\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e233 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46395686093039,"sku":"IEEJ-ZT011227-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cb455daa-16e7-4dbe-bd62-820694c5ace3.png?v=1744785503","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011227","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}