{"product_id":"ieej-zt011231","title":"C4F8およびC4F8-H2プラズマで生成された堆積膜の分析","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-231\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAnalysis of the fluorocarbon films deposited in C\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e and C\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e-H\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高田 昇治(名古屋大学),柴垣 寛治(名古屋大学),飯田 剛史(名古屋大学),佐々木 浩一(名古屋大学),門田 清(名古屋大学),尾山 公一(名古屋大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNoriharu Takada(Nagoya University),Kanji Shibagaki(Nagoya University),Tsuyoshi Iida(Nagoya University),kouichi Sasaki(Nagoya University),Kiyoshi Kadota(Nagoya University),Kin-ichi Oyama(Nagoya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eフルオロカーボンプラズマ|堆積膜|分析\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eSiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e等のドライエッチングプロセスに用いられるフルオロカーボンプラズマは、真空容器壁等に絶縁性の堆積膜を生成し、この膜の表面状態に依存したラジカルの生成・消滅がエッチング特性に影響を与えることが問題となっている．これまでに、気相のラジカル密度の空間分布測定より、CF\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eおよびCFラジカルは、壁から気相に向かって流出していることが明らかになっている．従って、表面生成物の含有元素や化学構造を明らかにし、表面反応のメカニズムを解明することは極めて重要である．本研究では\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e105 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395686519023,"sku":"IEEJ-ZT011231-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8f018488-4273-4a9e-80fc-6cc3bd032881.png?v=1744785519","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011231","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}