{"product_id":"ieej-zt011235","title":"希釈ガス選択によるフルオロカーボンプラズマのラジカル組成の制御","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-235\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eControl of radical composition by selection of dilution gases in the fluorocarbon plasmas\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e石島 達夫(名古屋大学),植竹 正樹(名古屋大学),池田 正巳(名古屋大学),菅井 秀郎(名古屋大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTatsuo Ishijima(Nagoya University),Masaki Uetake(Nagoya University),Masami Ikeda(Nagoya University),Hideo Sugai(Nagoya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eフルオロカーボンプラズマ|ラジカル制御|希釈ガス選択\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e　次世代のLSI製造においては高密度のフルオロカーボン(C\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e)プラズマを用い、誘電体材料の高速・高アスペクト比、高選択比エッチングが望まれている。しかし高密度・高エネルギーの電子は、原料ガスであるC\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003eの解離を促進し大量のＦラジカルを生成するため選択比の低下をもたらし問題となっている。本発表では、酸化膜エッチングによく用いられているC\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003eプラズマにおいて希釈ガスをAr\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e96 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395686682863,"sku":"IEEJ-ZT011235-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_fdc2bea2-6c5b-4bcb-88ca-10bf94c5788c.png?v=1744785530","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011235","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}