{"product_id":"ieej-zt011248","title":"パルス重イオンビームの発生と高純度化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-248\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGeneration and Purification of Pulse Heavy Ion Beam \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e前坪 洋介(富山大学),土居 弥寿彦(富山大学),遠藤 隆行(富山大学),高尾 和人(富山大学),北村 岩雄(富山大学),高橋 隆一(富山大学),升方 勝己(富山大学),田中 保宣(電子技術総合研究所),田上 尚男(電子技術総合研究所),荒井 和男(電子技術総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYousuke Maetsubo(Toyama University),Yasuhiko Doi(Toyama University),Takayuki Endo(Toyama University),Kazuto Tako(Toyama University),Iwao Kitamura(Toyama University),Takakazu Takahashi(Toyama University),Katumi Masugata(Toyama University),Yasunobu Tanaka(Erectrotechnical Laboratory),Hisao Tanoue(Erectrotechnical Laboratory),Kazuo Arai(Erectrotechnical Laboratory)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルスパワー|パルス重イオンビーム|磁気絶縁ダイオード|プラズマガン\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eパルス重イオンビーム(PHIB)は核融合や材料開発で幅広い応用領域を持つ。我々は半導体へのパルスイオン注入を目的としたPHIBの開発を行っている。パルスイオン注入は、イオン注入とアニール処理が同時に行うことができる新しい注入法である。本研究では、イオン源に炭素同時来るらズマガンを用いたBr型磁気絶縁ダイオード(Br-MID)を開発し、その特性評価を行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e84 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395689337071,"sku":"IEEJ-ZT011248-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cc13cef2-9743-4736-8fc2-1fda4eac15a1.png?v=1744785632","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011248","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}