{"product_id":"ieej-zt011250","title":"プラズマフォーカス装置を用いた窒素イオンビーム発生とパルスイオン注入への応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-250\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGeneration of nitrogen Ion Beam by a Plasma Focus Device　and its Application to Pulsed Ion Implantation  \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e塩谷 将希(富山大学),高尾 和人(富山大学),本田 武夫(富山大学),北村 岩雄(富山大学),高橋 隆一(富山大学),升方 勝己(富山大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasaki Shiotani(Toyama University),Kazuto Takao(Toyama University),Takeo Honda(Toyama University),Iwao Kitamura(Toyama University),Takakazu Takahashi(Toyama University),Katsumi Masugata(Toyama University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマフォーカス|イオンビーム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では、プラズマフォーカス装置から発生される窒素イオンビームをイオン注入への応用を目的とし、計測及び評価を行った。本実験には、メーザータイプのプラズマフォーカス装置を用い、封入ガスとして窒素を使用した。発生するイオン種および、エネルギースペクトルはトムソンパラボラ分析器で評価し、イオン電流密度はバイアスイオンコレクタ（BIC）で計測した。一価二価及び三価の窒素イオンの発生を確認できた。また、そのエネルギーは、1MeV～180keVの範囲に分布していた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e271 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395689369839,"sku":"IEEJ-ZT011250-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9320b959-74e1-4440-a9e0-a25291d3176d.png?v=1744785635","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt011250","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}