{"product_id":"ieej-zt012036","title":"LIPP法による3次元空間電荷分布測定装置の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-036\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Space Charge Measurement Equipment for 3-Dimension by LIPP Method  \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e武藤哲 (武蔵工業大学),市川 英樹(武蔵工業大学),田中 康寛(武蔵工業大学),高田 達雄(武蔵工業大学),前野 恭(通信総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSatoshi Muto(Musashi Institute of Technology),Hideki Ichikawa(Musashi Institute of Technology),Yasuhiro Tanaka(Musashi Institute of Technology),Tatsuo Takada(Musashi Institute of Technology),Takashi Maeno(Communications Research Laboratory)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e空間電荷|LIPP法|誘導ノイズ|デコンボリューション\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e空間電荷測定は、一般に試料厚さに比べ測定範囲の直径が大きく、電荷分布の平均値を測定している。そこで、測定面積を小さくしてスキャンすることで、蓄積電荷の深さ方向と面方向の分布を把握できる3次元測定が可能となる。我々はLIPP法において、ターゲットに照射するパルスレーザの径を1mm以下にし、スキャンすることで3次元測定を試みた。しかし、測定面積を小さくすると出力信号も小さくなる（1／100）ため、レーザ装置からの誘導ノイズによって、S／Nが悪くなり再現性のある測定は困難であった。そこで、ノイズ遮断シールド技\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e230 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395707392239,"sku":"IEEJ-ZT012036-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_86b74635-96ee-4c04-bb56-45e843b1214b.png?v=1744786241","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt012036","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}