{"product_id":"ieej-zt012157","title":"ゾル・ゲル法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の分極疲労特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-157\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePolarization Fatigue Mechanism of Pb(Zr,Ti)O\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e Thin Films Prepared by Sol-Gel Method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田中 力(八戸工業大学),柿本 健一(八戸工業大学),掛本博文 (八戸工業大学),馬場 明(八戸工業大学),藤田 成隆(八戸工業大学),増田 陽一郎(八戸工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTikara Tanaka(Hachinohe Institute of Technology),Ken-ichi Kakimoto(Hachinohe Institute of Technology),Hirofumi Kakemoto(Hachinohe Institute of Technology),Akira Baba(Hachinohe Institute of Technology),Shigetaka Fujita(Hachinohe Institute of Technology),Yoichiro Masuda(Hachinohe Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e強誘電体薄膜|ゾルゲル法|分極疲労|強誘電体ドメイン|D?Eヒステリシスループ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eSol-gel法により、Pb(Zr,Ti)O\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e(PZT)前駆体溶液をPt\/SiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e\/Si(100)基板上にスピンコートし、酸素雰囲気下でRapid Thermal Annealing(RTA)処理を行い、PZT薄膜を作製した。XRDの結果、RTA温度(T\u003csub\u003emax\u003c\/sub\u003e)に依存して結晶性が変化することが分かった。一例として、T\u003csub\u003emax\u003c\/sub\u003e=600℃で作製されたPZT薄膜の強誘電体特性を評価したところ、\u003ci\u003eD\u003c\/i\u003e-\u003ci\u003eE\u003c\/i\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e444 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46395723743471,"sku":"IEEJ-ZT012157-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_59e539d8-b897-4b84-a03f-694eae70843b.png?v=1744786910","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt012157","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}