{"product_id":"ieej-zt012217","title":"二方向マイクロパターン化磁性膜における熱処理効果","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-217\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEffect of annealing in bi-directionally micro-patterned magnetic thin film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e馬場誠 (東北大学),山口正洋 (東北大学),荒井賢一 (東北大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e薄膜インダクタ|RF集積回路|CoNbZr薄膜|微細パターン|熱処理|磁区構造\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e1GHzで駆動する磁性薄膜インダクタにおいて、誘導磁気異方性をコイルの向きに対して45°方向に付与したのち、コイルに沿ったマイクロパターン化を行うことにより、コイル上4辺すべてにおいて困難軸励磁が可能となる。しかし、誘導磁気異方性が45°方向からずれて付与されると、コイル2辺上において多磁区構造となり、残りのコイル2辺上においてのみ困難軸励磁となっていた。多磁区構造を単磁区構造にする手段として45°方向への静磁界中熱処理を用いることにより、コイル4辺上すべてにおいて単磁区構造が得られ、困難軸励磁となること\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e178 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395727872239,"sku":"IEEJ-ZT012217-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2553552c-1351-4092-a118-d32e2a7c0cd7.png?v=1744787216","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt012217","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}