{"product_id":"ieej-zt013018","title":"エキシマレーザ用コロナ予備電離の評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-018\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEstimation of Corona Preionization for Excimer laser\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e福田 建悟(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部長兵衛 (佐賀大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eFukuda Kengo(Saga Unibersity),Hayashi Nobuya(Saga Unibersity),Satoh Saburoh(Saga Unibersity),Yamabei Chobei(Saga Unibersity)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eエキシマレーザ|光リソグラフィ|コロナ予備電離|回転角|紫外光\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eレーザ励起放電の安定性は、エキシマレーザの安定性と密接な関係にある。そして、安定な励起放電を得るためには、均一な予備電離を行うことが必要不可欠である。本研究では、コロナ予備電離の高効率化をめざし、今まで充分に明らかにされていなかった印加電圧の波形や極性、電極形状等に対するコロナ放電の詳しい特性を測定している。そこで、今回の報告ではコロナ放電の基礎研究として、放電発生部の形状を変えることにより、荷電粒子密度がどのような変化をするか測定し、検討を行った。また、ICCDカメラによる放電の撮影も行い、荷電粒子密度\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e308 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395730690287,"sku":"IEEJ-ZT013018-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0f11d716-af40-4868-9b98-975a507fb350.png?v=1744787410","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt013018","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}