{"product_id":"ieej-zt013123","title":"タッチモード容量型圧力センサの破壊強度に及ぼすダイアフラム表面形態の影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-123\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMorphological Influence of Diaphragm Surface on Fracture Toughness of Touch Mode Capacitive Pressure Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山本 敏(フジクラ),佐藤昌啓 (フジクラ),西村 仁(フジクラ),中尾 知(フジクラ)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSatoshi Yamamoto(Micro Device Department,Electron Device Laboratory),Masahiro Sato(Micro Device Department,Electron Device Laboratory),Hitoshi Nishimura(Micro Device Department,Electron Device Laboratory),Osamu Nakao(Micro Device Department,Electron Device Laboratory)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eタッチモード容量型圧力センサ|ダイアフラム|破壊強度\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は高圧力での耐久性が要求される用途に対して、タッチモード容量型圧力センサを開発した。この開発において、シリコンから形成されたダイアフラムの表面形態が、その破壊耐圧に及ぼす影響を系統的に検討した。この検討により、破壊耐圧が50kgf\/cm\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003e以上と高い値を示したセンサのダイアフラム表面形態は、非常に平坦であることが明らかとなった。一方、40kgf\/cm\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003e程度の印加圧力でダイアフラムにクラックが発生したセンサのダイアフラム表面には、直径0.2μm程度のピッ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e348 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395741208815,"sku":"IEEJ-ZT013123-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3ddbef37-81ac-4b9e-84ed-611f8508f33b.png?v=1744787993","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt013123","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}