{"product_id":"ieej-zt013148","title":"プラズマプロセスによるNOxガスセンサ用薄膜の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-148\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePreparation of NOx gas sensor films by plasma processing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e須田義昭 (佐世保工業高等専門学校),川崎仁晴 (佐世保工業高等専門学校),難波潤 (佐世保工業高等専門学校),和田憲治 (佐世保工業高等専門学校)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eガスセンサ|プラズマプロセス|NOx|薄膜\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高周波マグネトロンスパッタリング法を用いて、NOx薄膜を作製し、その作動温度依存性を測定した。その結果、P\u003csub\u003eO2\u003c\/sub\u003e =0.75Pa, P\u003csub\u003eAr\u003c\/sub\u003e =0.25Paの場合に作動温度400℃でNO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eガス検知感度5.8が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e122 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395743633647,"sku":"IEEJ-ZT013148-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_3d9b8026-3c02-4522-aee8-8668c07ca9f4.png?v=1744788113","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt013148","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}