{"product_id":"ieej-zt013158","title":"環境汚染物質計測用マイクロセンサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-158\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of a Microsensor for the Measurement of Environmental Pollutions\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e横山達也 (東京電機大学),原和裕 (東京電機大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e環境計測|環境汚染|マイクロセンサ|酸化物半導体\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e　本研究では、汚染物質ガスであるホルムアルデヒド等、浮遊粒子状物質であるタバコの煙、ディーゼルエンジンの排気ガス、花粉等を検知するセンサを開発した。 マイクロセンサ、マイクロヒータはダイアフラム構造としたSi基板上に作製した。感応膜は、１層目がFe\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eO\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e系薄膜、２層目をSnO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e系薄膜の2層構造とすることで安定性と感度の向上をめざした。測定時には、マイクロヒータとセンサを対向状態にして動作させた。　それらの環境汚染物質によるセンサ感応膜の\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e185 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46395744518383,"sku":"IEEJ-ZT013158-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_36a13644-9ce6-4c05-8e25-d654eb680cd9.png?v=1744788180","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt013158","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}