{"product_id":"ieej-zt013164","title":"LIGAライクプロセスによるNi-Ｃｏ製マイクロアクチュエータの形成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-164\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of Microactuator made of Ni-Ｃｏ using LIGA like Process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e安井学 (神奈川県産業技術総合研究所),平林康男 (神奈川県産業技術総合研究所),川口明廣 (神奈川県産業技術総合研究所),星川潔 (神奈川県産業技術総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eNi-Co|LIGAﾗｲｸﾌﾟﾛｾｽ|櫛歯型ﾏｲｸﾛｱｸﾁｭｴｰﾀ|電鋳\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eマイクロマシニング技術の一つにLIGAライクプロセスがある。これは，厚膜レジスト製鋳型のレジスト除去部分に金属を電析し，レジストを除去することで，マイクロアクチュエータ・センサを製作する技術であり，基板上への材料の創製と形成を同時に実現できる。　ヒンジ構造を持つマイクロアクチュエータでは，安定した動作を得るために共振周波数を大きくする必要があり，高硬度材料が要求される。また，LIGAライクプロセスでは，レジスト形状の精密転写に必要な低歪み，他プロセスとの整合による耐熱性が材料に要求される。以上より本研究\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e211 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46395745042671,"sku":"IEEJ-ZT013164-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_06e5fd0b-1283-4cf3-8443-0f4e3ec4ebdf.png?v=1744788224","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt013164","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}