{"product_id":"ieej-zt013175","title":"マイクロマシン技術を用いたＬＳＩテスト用微細プローブピンの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-175\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of Miniaturized Probe Pins for LSI Testing using Micromachine Technology\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e和田 晃一(アドバンテスト研究所),北爪 秀憲(アドバンテスト研究所),奈良崎 亘(アドバンテスト),本山 慎一(アドバンテスト研究所),蛸島 武尚(アドバンテスト),YongxunLiu (東北大学),江刺 正喜(東北大学),秦 誠一(東京工業大学),下河辺 明(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKouichi Wada(ADVANTEST Laboratories Ltd.),Hidenori Kitazume(ADVANTEST Laboratories Ltd.),Wataru Narazaki(ADVANTEST Corp.),Sinichi Motoyama(ADVANTEST Laboratories Ltd.),Takehisa Takoshima(ADVANTEST Corp.),Yongxun Liu(Tohoku University),Masayoshi Esashi(Tohoku University),Seiichi Hata(Tok),Akira Simokoube(Tok)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプローブピン|高速・多ピン|マイクロマシン|薄膜アモルファス合金\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e薄膜アモルファス合金を素材として、これをマイクロマシン技術により微細加工を行うことにより高速・多ピン用の微細プローブ・ピン（長さ=220μｍ、幅＝60μm、高さ=100μｍ、ピッチ=150μｍ)を試作した。試作したプローブ・ピンの荷重は約0.1gf、Alに対する接触抵抗は約２～３Ωであった。この荷重はタングステン等を用いた通常のニードルプローブ・ピンの荷重に比べて約二桁低荷重である。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e403 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395751399663,"sku":"IEEJ-ZT013175-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bfe70d2e-6f34-42c4-9f5e-84fab7e8c161.png?v=1744788283","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt013175","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}