{"product_id":"ieej-zt013176","title":"高アスペクト比構造を用いた低Ｇ用静電容量型加速度センサに関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-176\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStudy on a High Aspect Ratio Structure for a Capacitive Low-G Accelerometer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e疋田 雄児(立命館大学),吉藤 健次(立命館大学),杉山 進(立命館大学),小西 聡(立命館大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuji Hikida(Ritsumeikan University),Kenji Yoshifuji(Ritsumeikan University),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e静電容量型加速度センサ|電極分散構造|高アスペクト比構造\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、自動車・航空機等の幅広い分野において小型・高感度・高精度な加速度センサが求められており、中でも１Ｇ以下の微弱・低周波加速度の検出が課題となっている。静電容量型加速度センサは他の検出方式に比べて高感度・高精度に検出可能であるが、小型化すると初期容量が減少し、寄生容量の影響を受ける。本研究では、センサ構造を高アスペクト比化することで初期容量を増やし、0.1～0.4m\/s2領域（検出周波数範囲0.5～5Hz）の低Ｇ加速度を高感度・高精度に検出可能な加速度センサの開発を目的としている。本発表では、ＦＥＭ解析\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e403 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395751497967,"sku":"IEEJ-ZT013176-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b97b5b88-b214-48e1-8416-689baf3d2bf7.png?v=1744788286","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt013176","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}