{"product_id":"ieej-zt01s0412","title":"LSI微細加工プロセスへのUHF-ECRプラズマ応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-S4-12\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成13年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2001\/03\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e板橋直志 (日立製作所),森政士 (日立製作所),小藤直行 (日立製作所),根岸伸幸 (日立製作所),横川賢悦 (日立製作所),伊澤勝 (日立製作所),田地新一 (日立製作所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,007 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46395698348271,"sku":"IEEJ-ZT01S0412-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_92e23ae6-b7ad-4eb6-835d-1ba3d52dc041.png?v=1744786013","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt01s0412","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}