{"product_id":"ieej-zt021018","title":"プラズマカソードを用いたエキシマレーザ用放電電極の放電特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-018\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDischarge Characteristics of Plasma Cathode for Excimer Laser Electrode\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e井手 義章(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),猪原哲 (佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部 長兵衛(佐賀大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiaki Ide(Saga University),Nobuya Hayashi(Saga University),Satoshi Ihara(Saga University),Saburoh Satoh(Saga University),Chobei Yamabe(Saga University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eエキシマレーザ|プラズマカソード|コロナ予備電離\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e現在、エキシマレーザ装置に求められている条件の一つに、放電電極の長寿命化が挙げられる。放電電極表面では、予備電離や電界の不均一性による集中放電やF\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eガスによる腐食により電極寿命は、10\u003csup\u003e8\u003c\/sup\u003e～10\u003csup\u003e9\u003c\/sup\u003eショットと短い。集中放電を抑制するために、コロナ予備電離用電極を陰極電極上に設置したプラズマカソードを提案する。電極表面に初期電子が供給されるため、陰極電位が上昇し金属電極におけるスパッタが低減されるため、長寿命化の可能性があると考えられる。本研究では、プラズマカソードにおけるコロナ予備電離の特性を調べるために、比誘電率の異なる誘電体材料を用いた時のHeガス中の放電特性について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e147 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395889942767,"sku":"IEEJ-ZT021018-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c10f3d25-5ec2-495e-8e6a-65b71a142530.png?v=1744794449","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt021018","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}