{"product_id":"ieej-zt021191","title":"平行平板型RFプラズマにおける電力特性の検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-191\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePower Characteristics of Parallel-Plate RF Plasma in Ar\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田島 伸治郎(中央大学),池垣 秀樹(中央大学),雨宮 宏(理化学研究所),遠藤 正雄(中央大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShinjiro Tajima(Chuo University),Hideki Ikegaki(Chuo University),Hiroshi Amemiya(The Institute of Physical and Chemical Reseach),Masao Endo(Chuo University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e平行平板型RFプラズマ|電力特性|電極の間隔と半径比\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e現代社会の工業, 産業の分野においてプラズマは不可欠なものとなっている. デポジッション, エッチングでは最適な形態とされる一方, プラズマの均一化, プロセスの高速化, 効率上昇が課題とされている. そのため電子温度, 密度等の基礎量を正確に把握し, 実際に注入される電力を知る必要がある. 現在のデポジッション, エッチングでは電極の間隔と半径の比が1よりも小さいものが多く用いられているが, 十分にパワーを供給出来ないという問題点がある. 本実験では, RFプラズマの等価回路に基づき, 上述の比が1よりも大きい場合について電力特性を測定し, その検討を行う.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e142 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395921924335,"sku":"IEEJ-ZT021191-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_27759cc6-d42b-46d1-9a82-1e318c79f385.png?v=1744795413","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt021191","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}