{"product_id":"ieej-zt021192","title":"RF放電プラズマによる基板への熱流束と電子密度分布測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-192\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurement of electron density distribution and heat flux into substrate by RF discharge plasma.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e菅野修治 (岩手大学),尾形 広人(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),藤原 民也(岩手大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShuji Kanno(Iwate University),Hiroto Ogata(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Kouichi Takaki(Iwate University),Tamiya Fujiwara(Iwate University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電子密度|熱流束|RF放電プラズマ|レーザ干渉\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究は、容量結合型RF放電プラズマの電子密度分布と基板に入る熱流束を、それぞれ円筒型プローブ、LiNbO3結晶を用いて測定した。平行平板電極にはガードリングを施しており、電極間隔は2cmと4cmの場合で測定した。その結果、電極間隔が2cmの場合は、電極の端付近で電子密度は最大となり、4cmの場合は電極中心付近で最大となった。熱流束は、LiNbO3結晶を用いて測定した温度から計算により求めた。その結果、電子密度分布と熱流束分布の傾向はよく一致した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e126 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395921989871,"sku":"IEEJ-ZT021192-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ed86bced-f60d-431d-b444-b0b7c73d0c19.png?v=1744795416","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt021192","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}