{"product_id":"ieej-zt022088","title":"ゾル‐ゲル法によるPZT薄膜の作製及び誘電特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-088\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePreparation and Characteristic Analysis of PZT Thin Film Made by Sol-Gel Method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e余峰 (秋田大学),吉村 昇(秋田大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eFeng Yu(Akita University),Noboru Yoshimura(Akita University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eゾル‐ゲル法|ジルコン酸チタン酸鉛|強誘電体|薄膜\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e実験室でゾル‐ゲル法によるPZT薄膜を作製した。複数回のコーティングと有機物質の蒸発を繰り返して厚さが50ミクロメータまでの厚膜を得られた。SEM画像から見ると、薄膜は緻密な構造になっていることがわかった。測定温度によるPZT薄膜の誘電率を測定した。薄膜のキュリー点は500度の付近に現れた。周波数による薄膜の誘電率と誘電損失を測定した。周波数が増加すると誘電率が減少し、誘電損失の増加することがわかった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e224 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395936473327,"sku":"IEEJ-ZT022088-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5f01ce4d-e244-4f46-9ec4-75e1b7d98c64.png?v=1744796333","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt022088","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}