{"product_id":"ieej-zt023110","title":"単結晶シリコンナノワイヤーブリッジのピエゾ抵抗効果の評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-110\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEvaluation of piezoresistance in single crystal silicon nano wire bridge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e船井 大輔(立命館大学),鳥山 寿之(NEDO),杉山 進(立命館大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eDaisuke Funai(Ritsumeikan University),Tosiyuki Toriyama(NEDO),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eナノワイヤーブリッジ|単結晶シリコン|ピエゾ抵抗効果\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eエレクトロンビーム直接描画とRIEを用いてSIMOX基板のシリコン層（～50nm）にナノワイヤーを製作した。次にBOX層（～150nm）を犠牲層に用いることによりナノワイヤーブリッジを製作した。製作したナノワイヤーブリッジの寸法は幅～50nm、厚さ～50nm、長さ～3μmと幅～100nm、厚さ～50nm、長さ～3μmである。SIMOX基板のカンチレバーを用いてナノワイヤーブリッジに応力を作用させた。FEM応力解析によりナノワイヤーブリッジに作用する応力を解析した。解析した応力値と計測した抵抗変化からナノワイヤーブリッジのピエゾ抵抗効果を調べ、ピエゾ抵抗素子として十分機能することを確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e291 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395964227823,"sku":"IEEJ-ZT023110-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_aaf0a7c8-fb14-43c2-88a8-56f71d94f7f1.png?v=1744797579","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023110","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}