{"product_id":"ieej-zt023111","title":"ダイオード温度センサを用いたマイクロエアブリッジヒータとその応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-111\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMicro Air-Bridge Heater Using a Diode Temperature Sensor and its Applications\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e豊島 克久(東北学院大学),中道 晶仁(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKatsuhisa Toshima(Tohoku-Gakuin University),Akihito Nakamichi(Tohoku-Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku-Gakuin University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロヒータ|エアブリッジ|温度センサ|湿度センサ|ガスセンサ|ガス分析\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eSi基板に形成したマイクロエアブリッジヒータの応用として，我々はこれまで絶対湿度センサの開発を行ってきた。このセンサは，薄膜白金ヒータを用いており，ヒータ温度を450℃程度に上昇させないと感度が小さいため，ヒータの経時変化が現れるなどの問題があった。本研究では，ダイオード温度センサを搭載したマイクロエアブリッジ単結晶Siヒータを提案し，試作，特性評価，さらにその応用について検討を行ったので報告する。本研究のダイオード温度センサは，新たに提案するものでpn接合の順方向又は逆方向の半固定バイアスにより，可変感度でサーミスタ的な絶対温度が計測可能であり，極めて高感度で高速応答の温度センサが期待できる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e465 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395964293359,"sku":"IEEJ-ZT023111-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_424a9813-ca5c-4582-91c6-33f3e2514918.png?v=1744797582","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023111","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}