{"product_id":"ieej-zt023127","title":"ガス選択性改善のためのマイクロチャネル形ガスセンサの研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-127\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of a gas sensor with a micro-channel for gas selectivity improvement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e伊藤彰人 (東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkihito Ito(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eガスセンサ|マイクロチャネル|マイクロマシーニング|酸化第二鉄|酸化錫\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e現在、半導体薄膜ガスセンサの開発は盛んに行われており、高感度なガスセンサの開発が実現されつつある。しかし、高選択性のガスセンサは、開発途上であり、現状ではガスクロマトグラフィー法のような大型装置に限られてくる。一般に、NOとNO2のように共存するガスを選択的に検知することは困難であるが、NOガスは麻酔用として従来から使用されているために、NOだけを選択的に検知するセンサが医療方面から切望されている。ここで報告するマイクロチャネル形ガスセンサは、IC技術によりセンサ基板上にマイクロチャネルを作製し、そのチャネル内に薄膜ガスセンサを作製した。ガスをチャネル内に通過させ、センサに到達させることにより、選択性を向上させることに成功した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e208 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46395965571311,"sku":"IEEJ-ZT023127-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2ec0421f-c0f0-4063-931c-84db52789b72.png?v=1744797684","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023127","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}