{"product_id":"ieej-zt023140","title":"集積化半導体VOCセンサの高感度化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-140\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eImprovement in VOC Sensitivity of Integrated Semiconductor Gas Sensors\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e角崎 雅博(富山県工業技術センタ-),谷野 克巳(富山県工業技術センタ-),龍山 智榮(富山大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasahiro Kadosaki(Toyama Industrial Technology Center),Katsumi Tanino(Toyama Industrial Technology Center),Tiei Tatsuyama(Toyama University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eガスセンサ|酸化物半導体|VOC|シックハウス症候群|ホルムアルデヒド|トルエン\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eこれまで、6種類の酸化物半導体を用いた集積化VOCセンサを用いることにより、17種類の100ppmVOCに対してガス識別を行った結果、その識別に有効であることを報告してきた。本報告では、上記6種類のうちn型半導体4種類（WO3、ZnO、In2O3、SnO2）を用いて、高感度タイプの集積化VOCセンサを試作し、1ppm濃度におけるセンサの評価を行ったのでその結果を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e131 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395966685423,"sku":"IEEJ-ZT023140-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_23c993a9-8d1d-4a78-abfa-c4b977bd3343.png?v=1744797748","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023140","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}