{"product_id":"ieej-zt023144","title":"大変位静電マイクロアクチュエータ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-144\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eElectrostatic Microactuator of Large Displacement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三田 信(東京大学),年吉 洋(東京大学),藤田 博之(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMakoto Mita(IIS.,the University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(IIS.,the University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(IIS.,the University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロマシン|リンク機構|静電アクチュエータ|mics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eMICSを用いて大変位を実現するマイクロアクチュエータを作製した。反りあがった構造にヒンジによりリンク機構を接続し、上下動作を平面内での前後方向の動きに変えることで、数十から百数十ミクロンの変位を得ることができる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e150 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395967406319,"sku":"IEEJ-ZT023144-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_479860fb-c74a-4ba9-a3fa-90bf3d0b99a2.png?v=1744797784","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023144","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}