{"product_id":"ieej-zt023159","title":"半導体マイクロマシン技術を用いたSTM探針の製作とその評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-159\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEstimation and Production of Micromachined STM tip\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e河原 宏昭(東京大学),三田 信(東京大学),藤田 博之(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroaki Kawara(University of Tokyou),Makoto Mita(University of Tokyou),Hiroyuki Fujita(University of Tokyou)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロマシンニング|STM探針\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体マイクロマシニング技術を利用して、Siウェハー上に STM用の探針の製作を試みた。このSTM用の探針は、通常の半導体加工技術のほかにICP-RIE を用いて、裏面から可動部（静電型櫛歯型アクチュエーター部、カンチレバーとアクチュエーター部を支えるばね）を掘りぬいてある。そのため、試料表面の観察に用いられているSi、タングステン等の材料から作成された通常のSTM用の探針とは、バネ定数等の特性が、著しく異なる。今発表においては、STM用の探針の製作手順の詳細と特性の評価を発表する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e632 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395971010799,"sku":"IEEJ-ZT023159-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_591abfdb-3d6b-46ec-9355-ef6818d1c7d5.png?v=1744797851","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023159","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}