{"product_id":"ieej-zt023165","title":"真空中における磁気駆動型マイクロミラーの動作特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-165\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurement of Motion Characteristics of a Magnetically Actuated Micromirror in Vaccum\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e岡野 陽子(神奈川県産業技術総合研究所),平林 康男(神奈川県産業技術総合研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoko Okano(Kanagawa Industrial Technology Research Institute(br)),Yasuo Hirabayashi(Kanagawa Industrial Technology Research Institute(br))\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロマシン|マイクロミラー|スキャナ|計測|真空\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e微妙なマイクロミラーの真の動作特性を把握するには、空気の抵抗を無視することができない。その為、真空中でのマイクロミラーの動作特性を測定する目的で計測装置を製作した。試作したマイクロミラーに対し、雰囲気圧力に対するQ値の変化と、低圧時の周波数特性を測定した。その結果、約350～670Paの低圧時には大気圧時と比較して、駆動用磁性膜の材質，マイクロミラーの梁幅によらず、10\u003csup\u003e3\u003c\/sup\u003ePaからの急激なQ値の上昇と減衰比の低下、固有周波数の移動が見られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e179 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395972780271,"sku":"IEEJ-ZT023165-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d204ea5f-14d5-4bbe-9d1f-1aa1c8af7289.png?v=1744797907","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023165","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}