{"product_id":"ieej-zt023170","title":"スマート神経電位センサに向けたSi(111)上CMOS集積回路の試作","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-170\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of CMOS Integrated Circuit on Si(111) for Smart Nerve Potential Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e加藤陶子 (豊橋技術科学大学),伊藤芳晃 (豊橋技術科学大学),河野 剛士(豊橋技術科学大学),高尾 英邦(豊橋技術科学大学),足木 光昭(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiko Kato(Toyohashi University of Technology),Yoshiaki Ito(Toyohashi University of Technology),Takeshi Kawano(Toyohashi University of Technology),Hidekuni Takao(Toyohashi University of Technology),Mitsuaki Ashiki(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eSi(111)|CMOS集積回路|神経電位センサ|VLS成長法\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は信号処理回路部とセンサ部を1チップ上で一体化させた神経電位センサを提案している。センサに用いるプローブは、VLS(Vapor-Liquid-Solid)成長法で形成するが、VLS成長は〈111〉方向に成長するため、信号処理回路はSi(111)上に作製する必要がある。そこで、神経電位計測用集積回路として、2次元に配置された電位検出画素に、X方向，Y方向にアドレスを走査するシフトレジスタを接続した回路をSi(111)用に設計した。そして、Si(111)用にプロセスの最適条件を検討し、Si(111)上CMOS集積回路の製作および評価をおこなった。測定の結果、Si(111)上の8bitシフトレジスタの動作が確認できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e242 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46395973533935,"sku":"IEEJ-ZT023170-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ef13d779-2dde-4d9c-8c5f-0fefe6663474.png?v=1744797952","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt023170","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}