{"product_id":"ieej-zt024190","title":"水によるシリコン酸化膜の衝突帯電機構","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-190\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2002\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eElectrification Mechanism on SiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e Film by Collision of Water Jet\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e早川 信吾(神奈川工科大学),下川 博文(神奈川工科大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShingo Hayakawa(Kanagawa Institute of Technology),Hirofumi Shimokawa(Kanagawa Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e衝突帯電|流動帯電|電荷緩和|シリコン酸化膜|噴流\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e前回の報告で酸化膜と水との電荷交換量は、衝突させる流速に強く依存し、酸化膜厚などには依存しないことがわかった。今回は電荷交換の機構を明らかにすることを目的としている。ウェハに水を衝突させ、ファラデーカップに水を回収しその電荷量を測定する方法を採り、衝突帯電はどの様な帯電機構が支配的であるかを特定する。衝突させる水の抵抗率を変化させた場合、回収電荷量が抵抗率に比例していることがわかった。抵抗率が低いほど、電荷の緩和量は多く、また、緩和した電荷分だけ回収電荷量は減る。すなわち抵抗率が大きいほど回収電荷量が大きくなるのである。この結果から、衝突帯電機構では流動帯電が支配的であると結論づけた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e130 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396001648879,"sku":"IEEJ-ZT024190-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_08680c3f-88ce-4ba7-b800-85f388540861.png?v=1744799025","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt024190","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}