{"product_id":"ieej-zt031087","title":"CHF3\/Ar混合気体中の電子輸送係数の測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-087\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2003\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurements of Electron Transport Coefficients in CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e\/Ar Mixture\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三谷 正宏(慶應義塾大学),中村 義春(慶應義塾大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasahiro Mitani(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eCHF3|電子衝突断面積|スオーム法|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体製作過程のプラズマエッチングに用いられるCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eの電子衝突断面積を、電子スオーム法を用いて決定する事を目的として、5.23%CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e\/Ar混合気体中のドリフト速度と縦方向拡散係数を0.6Tdから50TdのE\/N範囲で測定した。測定結果は、純粋CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e中の電子輸送係数の測定結果と大きく異なるE\/N依存性を示した。これは、輸送係数がCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eの運動量移行断面積の影響をあまり受けずに、主にArの運動量移行断面積とCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eの振動励起断面積にのみ依存するためと考えられる。この結果より、独立の推定が困難であり、未だデータの不足しているCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eの振動励起断面積に関する検討を加えることが可能となった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e871 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396296888559,"sku":"IEEJ-ZT031087-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5cbd1a25-9c83-488c-acff-73cf0fbadd6f.png?v=1744804013","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt031087","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}