{"product_id":"ieej-zt032142","title":"N2OガスによるSi(100)表面の初期熱酸化過程","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-142\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2003\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInitial Thermal Oxidation of Si(100) with N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eO\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e遠田 義晴(弘前大学),原口 理(弘前大学),中澤 日出樹(弘前大学),村田 威史(東北大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiharu Enta(Hirosaki University),Osamu Haraguchi(Hirosaki University),Hideki Nakazawa(Hirosaki University),Takeshi Murata(Tohoku University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e熱酸化|シリコン表面|亜酸化窒素|内殻準位|放射光\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eN\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eOガスによるSi(100)表面の初期熱酸化過程を放射光を用いたSi 2p内殻準位の表面化学シフトスペクトルにより調べた。酸化条件は酸化温度が350℃から720℃、N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eOガスの圧力は5x10\u003csup\u003e-5\u003c\/sup\u003eTorrである。Si 2p内殻準位をピーク分離して各成分強度の酸化時間変化を解析した結果、酸化温度が600℃以下の低温領域では酸化速度がラングミュア吸着的であるのに対し、600℃以上の高温領域では核形成反応に依存する酸化過程であり、O\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eガスを用いた熱酸化と同様の素過程であることがわかった。低温領域での酸化速度は、N\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eO酸化のほうがO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e酸化より温度に大きく依存することも明らかになった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e762 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396337881327,"sku":"IEEJ-ZT032142-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a3ba0c04-ee2e-4a4c-b9ef-70f5734b75c7.png?v=1744805539","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt032142","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}