{"product_id":"ieej-zt032154","title":"(CoFeB)-(SiO2)系軟磁性膜の高電気抵抗と渦電流の抑制効果","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-154\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2003\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh Resistivity and Eddy Current Supression of Soft Magnetic (CoFeB)-(SiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e) Thin Films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e宗像誠 (祟城大学),並河雅志 (祟城大学),八木正昭 (祟城大学),本山真潮 (デルタワークス),島田寛 (東北大学),藪上信 (東北大学),山口正洋 (東北大学),荒井賢一 (東北大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e渦電流|高電気抵抗|ヘテロアモルファスグラニュラー構造|(CoFeB)-(SiO2)系軟磁性膜|高周波比透磁率特性|抑制効果\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eヘテロアモルファス構造を持つ(CoFeB)-(SiO2)系高電気抵抗軟磁性膜が，円筒電極三元同時RFマグネトロンスパッタ法より，製膜された．この膜は従来の100倍以上の高電気抵抗率を持つためGHz帯まで優れた高周波透磁率特性を示す．本研究では,高電気抵抗率による渦電流の抑制効果を検証することを目的とし，高周波透磁率特性の膜厚依存性を検討した．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e764 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396339224815,"sku":"IEEJ-ZT032154-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8c6755c1-f053-464a-92ca-dd5eed4938c9.png?v=1744805602","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt032154","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}