{"product_id":"ieej-zt033141","title":"水熱合成法PZT薄膜を用いたプローブセンサの形状測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-141\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2003\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHydrothermally Deposited PZT Thin Film Vibration Probe Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐々木美沙都 (東京工業大学),神田岳文 (岡山大学),黒澤実 (東京工業大学),樋口俊郎 (東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e水熱合成法\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eAFMなどのプローブ式顕微鏡では、低測定力で高分解能の表面形状測定が実現されている。しかし、AFMは測定速度が遅く、測定範囲が狭いという欠点がある。そこで、AFMに準ずる分解能を持ち、比較的低接触力で広範囲を高速に測定を実現するため、縦振動を利用した水熱合成法によるPZT薄膜の加振形接触センサの研究を行ってきた。測定対象として、溝が1μｍピッチで深さ100nmのガラスの回折格子を用いたところ、縦方向・横方向の両方に関して試料に準じた像を得ることが出来た。また、先端の先鋭化をはかるために近接場光学顕微鏡用のファイバープローブをプローブの先端の部分に取り付けて測定を行っている。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e876 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396367962351,"sku":"IEEJ-ZT033141-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b2645ecf-9d5a-4534-ba66-1a7b074667b5.png?v=1744806687","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt033141","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}