{"product_id":"ieej-zt033149","title":"SOIウェハの貼り合わせを用いたフリースタンディングワイヤの作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e3-149\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2003\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of the free-standing wire based on bonding two SOI wafers\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e菊池 菜穂子(関西大学),青柳 誠司(関西大学),高野 政晴(関西大学),橋口 原(香川大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNahoko Kikuchi(Kansai University),Seiji Aoyagi(Kansai University),Masaharu Takano(Kansai University),Gen Hashiguchi(Kagawa University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eナノワイヤ|櫛歯型静電マイクロアクチュエータ|貼り合わせ|SOI\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では将来的にSiナノ構造の機械?電気特性の相関を明らかにするために，Siワイヤの一端に櫛歯型静電マイクロアクチュエータを一体型で作製し，そのアクチュエータによりSiワイヤに応力を加えて，その時の電気特性（ピエゾ抵抗効果）の変化を測定した（ただし現段階ではワイヤはマイクロメータサイズである）．本デバイスの特徴は，1)SOIウェハの貼り合わせを用いてワイヤをフリースタンディングさせることにより，基板等を介さずにアクチュエータからワイヤに直接応力を加えることが出来ること，2)ワイヤはウエットエッチングを基本としたLOCOSにより作製すること（断面形状は三角形になる），3)櫛歯型アクチュエータと一体化したこと，である．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,371 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46396369600751,"sku":"IEEJ-ZT033149-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e01e4112-e59d-470a-b18e-beee55ea44b1.png?v=1744806752","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt033149","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}