{"product_id":"ieej-zt034006","title":"プレーナ型4HSiC-SITの試作・評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e4-006\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2003\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication \u0026amp; Evaluation of Planer 4HSiC-SIT\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e水上 誠(東芝),滝川 修(東芝),室岡 三千男(東芝),今井 聖支(東芝),木下 浩三(東芝),畠山 哲夫(東芝),附田 正則(東芝),齋藤 渉(東芝),大村一郎 (東芝),四戸 孝(東芝)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMakoto Mizukami(TOSHIBA Corp.),Osamu Takikawa(TOSHIBA Corp.),Michio Murooka(TOSHIBA Corp.),Seiji Imai(TOSHIBA Corp.),Kozo Kinoshita(TOSHIBA Corp.),Tetsuo Hatakeyama(TOSHIBA Corp.),Masanori Tsukuda(TOSHIBA Corp.),Wataru Saito(TOSHIBA Corp.),Ichiro Omura(TOSHIBA Corp.),Takashi Shinohe(TOSHIBA Corp.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e静電誘導トランジスタ|ＳｉＣ|SIT|JFET\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e今回試作したSITは、活性領域の面積が1×10\u003csup\u003e-3\u003c\/sup\u003ecm\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003eであり、交互に並んだチャネルとゲート層(ｐ型イオン注入層)がゲート電極に対し直角に配置され、ゲート電極の電位を変化させる事によりゲート層から空乏層を伸び縮みさせて電子注入を制御し、スイッチングさせる設計となっている。n-エピ層の厚さは10μm、ゲート層の深さは2.5μmであり、耐圧保持部分のn-層の厚さは7.5μmである。また、チャネル間隔は2.5～4.5μmである。耐圧構造はSiCに適したGRA-RESURF(Guard Ring Assisted RESURF)構造を設けてありSITの静耐圧はチャネル間隔とゲートにかける負バイアスに依存して1300Vまでの間で変化した。Ronはチャネル間隔が4.5μmの素子で10mΩcm\u003csup\u003e2\u003c\/sup\u003eとなった。電源電圧200V、外部抵抗RL=1kΩの時のターンオフ時間は200nsであった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e644 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396376809711,"sku":"IEEJ-ZT034006-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0f4966ba-dd83-4169-a6ff-8ee226032cbe.png?v=1744806922","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt034006","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}