{"product_id":"ieej-zt041073","title":"純粋C5F8中の電子輸送係数の測定","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-073\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003e純粋C\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e中の電子輸送係数の測定\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMeasurement of electron transport parameters in pure C\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e儘田祐介 (慶應義塾大学),中村 義春(慶應義塾大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYusuke Mamada(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eC5F8|電子輸送係数|ドリフト速度|縦方向拡散係数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e新しく開発された半導体プラズマプロセス用気体C\u003csub\u003e5\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e中の電子のドリフト速度と縦方向拡散係数を\u003ci\u003eE\/N\u003c\/i\u003e=170-1400 Tdの範囲で測定した。ドリフト速度は200Td以下で\u003ci\u003eE\/N\u003c\/i\u003eの低下と共に増大する傾向を持つことが始めて示された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e597 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396553855215,"sku":"IEEJ-ZT041073-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cf45620c-f360-4163-bbb2-a6d11dc03ba3.png?v=1744812800","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt041073","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}