{"product_id":"ieej-zt041074","title":"CHF3分子の電子衝突断面積に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e全国大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-074\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【全国大会】平成16年電気学会全国大会論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2004\/03\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル：\u003c\/strong\u003eCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e分子の電子衝突断面積に関する研究\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Study on Electron Collision Cross Sections for CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三谷 正宏(慶應義塾大学),諸隈之彦 (慶應義塾大学),中村 義春(慶應義塾大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasahiro Mitani(Keio University),Yukihiko Morokuma(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eCHF3|電子スオーム法|電子衝突断面積|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数|実効電離係数\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eCF\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eの代替ガスとしてプラズマエッチングに用いられているCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eの電子衝突断面積セットを電子スオーム法により求めることを目的とし、CHF3気体中の電子輸送係数として、純粋CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e気体とCHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e-Ar混合気体中の電子ドリフト速度、縦方向拡散係数をTOF法を用いて、純粋CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e気体中の電離係数、付着係数をSST法を用いて測定した。電子輸送係数の計算にはBoltzmann方程式の二項近似解析を用いた。今回は特に振動励起断面積の修正を行い、混合気体中の輸送係数を再現するよう修正を行った結果、しきい値付近に非常に狭いピークを持ち、7eV付近に共鳴的なピークを持つ断面積が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e713 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 1","offer_id":46396554019055,"sku":"IEEJ-ZT041074-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_cc461f0a-99d7-4823-8733-03950baa6c05.png?v=1744812806","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-zt041074","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}